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征意【图文导读】图1人体神经反射启发的新型智能应力调控功率器件a.人体膝跳反射过程的示意图b.新型智能应力调控功率器件（SPD）的概念图图2SPD的结构及表征a.微米尺度悬臂梁结构AlGaN/GaNHEMT单元的示意图b.器件单元的扫描电子显微（SEM）照片c.AlGaN/AlN/GaN异质结的元素分布图d.AlGaN/AlN/GaN异质结的高分辨透射电子显微（TEM）照片图3SPD的电学特性a,b.SPD的输出特性和转移特性曲线。传统的响应外部机械信号的电力系统通常由集成一系列应力传感器、黑龙A/D或D/A转换器、黑龙强电/弱电隔离器、功率器件等元件，在CPU控制下实现反馈的长链式控制系统。

研究中采用同向-异向全干法刻蚀技术，江售在微米尺度的悬臂梁结构上制备AlGaN/GaNHEMT单元。司准实施b.机器人在运动过程中实现姿态平衡的功率自调节的概念图。